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高纯超净氢氟酸
发布：球信网化工 日期：2013/2/15 点击量：1449 次
性状：无色透明溶液，有强烈刺激性气味，剧毒。并有强烈的腐蚀性。
用途：用于化工、冶金、玻璃、矿山和石油开采以及原子能工业化学试剂、电子清洗等。 高纯超净氢氟酸，亦称湿化学品或加工化学品，是超大规模集成电路制作过程中关键性基础化工材料之一，主要用于芯片的湿法清洗和湿法蚀刻，它的纯度和洁净度对的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。高纯超净氢氟酸具有品种多、用量大、技术要求高、贮存有效期短和强腐蚀性等特点。这种工艺主要是洗净、光刻、蚀刻、显影、去膜、掺杂等。
贮存：贮存于通风良好的库房中。
运输：运输中作为一级无机酸性腐蚀物品。 包装：用聚乙烯塑料桶装，每桶25kg，或依用户要求充装。
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分子式：HF
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分子量:20.01
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项目
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指标
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| 优级纯G.R | 分析纯A.R | 化学纯C.P | |
| 氢氟酸（HF） W/% ≥ | 40.0 | 40.0 | 40.0 |
| 灼烧残渣（以硫酸盐计） W/% ≤ | 0.001 | 0.002 | 0.01 |
| 氯化物(CI) W/% ≤ | 0.0005 | 0.001 | 0.005 |
| 硫酸盐和亚硫酸盐（以SO4计） W/% ≤ | 0.001 | 0.002 | 0.005 |
| 磷酸盐（PO4） W/% ≤ | 0.0001 | 0.0002 | 0.0005 |
| 氟硅酸盐(SiF6) W/% ≤ | 0.02 | 0.04 | 0.06 |
| 铁（Fe） W/% ≤ | 0.00005 | 0.0001 | 0.0005 |
| 重金属（以Pb计） W/% ≤ | 0.0001 | 0.0005 | 0.001 |
